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FT-351高温四探针电阻率测试系统升级版
2018-10-11 10:29:35 来源:高温四探针电阻率测试FT-351高温四探针电阻率测试系统详情介绍
FT-351 high temperature four probe resistivity test system
功能概述:overview
1. 四探针双电组合测量方法测试方阻和电阻率系统与高温箱结合
2. 配置专用的高温四探针测试探针治具
3. PC软件对数据的处理和测量控制.
4. 大量程测试范围.
应用说明:
半导体材料的电导率对温度变化测量要求,先进的测控软件实时绘制出温度与电阻,电阻率,电导率数据的变化曲线图谱,及过程数据值的报表分析.
适用行业:Applicable industry:
广泛用于:企业、高等院校、科研部门对导电陶瓷、硅、锗单晶(棒料、晶片)电阻率、测定硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻以及测量导电玻璃(ITO)和其它导电薄膜等新材料方块电阻、电阻率和电导率数据.
双电测四探针仪是运用直线四探针双位测量。设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准。
型号及技术参数Models and technical parameters:
规格型号Models FT-351A FT-351B FT-351C
1.方块电阻范围sheet resistance 10-5~2×105Ω/□ 10-6~2×105Ω/□ 10-4~1×107Ω/□
2.电阻率范围resistivity range 10-6~2×106Ω-cm 10-7~2×106Ω-cm 10-5~2×108Ω-cm
3.测试电流范围test current range 0.1μA.μA.0μA,100A,1mA,10mA,100 mA 1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA 10mA ---200pA
4.电流精度current accuracy ±0.1%读数 ±0.1读数 ±2%
5.电阻精度resistance accuracy ≤0.3% ≤0.3% ≤10%
PC软件界面
PC software interface 显示:电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率
LCD: resistance.resistivity. sheet resistance. temperature.unit conversion. temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness
7.测试方式test mode 双电测量Double electrical measurement
8.四探针仪工作电源working power AC 220V±10%.50Hz
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